电子级超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA），作为新材料中的一种，被广泛应用于汽车、化工、电子电气、工程等领域，更是半导体行业不可或缺的重要原材料。以前，这种电子级超纯PFA一直被国外垄断，而今，这种状态正在被扭转。
4月15日，“行走黄河”主题报道采访团走进山东齐氟新材料有限公司。
“一期项目的核心产品是电子级超纯PFA。在半导体制程工艺中，往往用强酸强碱气体进行 ‘刻蚀’，运输和承载这些气体，需要用到一种电子级PFA的新材料。”该公司副总经理张传本介绍，此前我国已经可以做工业级PFA，但用于半导体行业的电子级PFA，长期以来依赖进口。
电子级超纯PFA为什么这么难做？只因其纯度要求更高。“超纯PFA可将半导体制程中金属离子含量由ppm级（百万分之一）控制到ppb级（十亿分之一），是14nm尤其是7nm以下高端芯片制程不可替代的材料。”张传本介绍。
为实现电子级超纯PFA生产，企业对生产要求十分苛刻。以企业生产用水为例。“企业生产要用纯水，因为纯水是要用在PFA产品上，在这个过程中，任何一个环节受了污染，最终产品都是受污染的。”张传本说。
此前，该公司含氟高端电子材料及配套化学品项目成功试生产，实现了技术上从0到1的突破，目前生产线运行情况良好。“根据客户反馈来看，我们生产的电子级超纯PFA产品品质不错。”张传本说，目前企业一期项目正式投产后可具备年产6.8万吨含氟新材料及配套化学品的生产能力。
二期项目已经动工，其核心产品年产3000吨的氟橡胶，是重要的密封材料；年产6000吨的含氟换热液，是AI、数据中心用的换热介质，具有广阔的市场前景。
（大众新闻记者 修从涛 刘童）
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